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  • 高精度定量吐出泵系列
    高精度定量吐出泵系列
    高精度定量吐出泵系列 以半導(dǎo)體制造工序?yàn)?..
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    高精度定量吐出泵系列 以半導(dǎo)體制造工序?yàn)槠瘘c(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，液晶，鋰電池，試劑等領(lǐng)域，用戶可根據(jù)用途及使用的工件，從驅(qū)動(dòng)方式和泵的類型中選擇合適的泵。 定量吐出泵的特點(diǎn)： 接液部由氟樹(shù)脂構(gòu)成，適用于各種藥液。 接液部采用無(wú)滑動(dòng)部結(jié)構(gòu)，幾乎不產(chǎn)生粒子， 無(wú)需日常維護(hù)，實(shí)現(xiàn)保持高重復(fù)精度額定量吐出。 定量吐出泵應(yīng)用案例： 要求高重復(fù)精度和直線性的工藝，如晶片涂覆；藥液填充/稱重/混合 要求涂覆開(kāi)始至結(jié)束的膜厚均勻性的工藝。如狹縫涂布，在磁盤上涂覆。

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